Chinas Chipherstellung: Langdao Silex zeigt Prototyp einer EUV-Lichtquelle

Langdao Silex hat laut asiatischen Medienberichten einen Prototyp einer EUV-Lichtquelle für die Herstellung moderner Chips gezeigt. Der Hersteller nennt für FlintNano LPP-OXXO mehr als 15 Watt Lichtleistung; ASMLs Systeme erreichen laut dem Bericht 600 Watt. Ob der Prototyp für die Produktion taugt, ist fraglich. Standpersonal nannte laut Bericht drei bis fünf Jahre bis zur Serienreife.